1、plasma放空氣體壓力過低
可能原因：請(qǐng)檢驗(yàn)汽體是不是打開或汽體是不是耗盡
解決措施：如出現(xiàn)該類警報(bào)請(qǐng)檢驗(yàn)內(nèi)腔底端的破真空常用氣路電磁閥是不是正常情況下工作，路線有無斷路或短路。
2、plasmaCDA壓差過低警報(bào)（破空氣體壓力低）
可能原因：此警報(bào)為壓縮空氣氣壓不足夠警報(bào)，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥（GDQ）的機(jī)器設(shè)備，出現(xiàn)此警報(bào)時(shí)需檢驗(yàn)CDA是不是正常情況下氣路致機(jī)器設(shè)備端。
解決措施：核對(duì)氣路壓差是不是過高或過低，減壓表的警報(bào)值是不是設(shè)定正確。
檢驗(yàn)電氣路線是不是出現(xiàn)斷路或短路。

3、plasma不發(fā)光
可能原因：1.機(jī)械泵是不是正常情況下運(yùn)轉(zhuǎn)；2.射頻電源主板芯片燒毀；
處理措施：1.機(jī)械泵是不是正常情況下工作，查看真空壓力表值是不是達(dá)到正常情況下壓差值；如不能達(dá)到正常情況下壓強(qiáng)，則代表氣路有漏氣需重新檢驗(yàn)氣路是不是固定好。
4.plasma打開機(jī)器設(shè)備右側(cè)面板，檢驗(yàn)射頻電源主板芯片綠色燈在機(jī)器設(shè)備正常情況下運(yùn)轉(zhuǎn)下是不是亮，如果不亮，請(qǐng)聯(lián)系東信高科售后人員進(jìn)行替換。
4、plasma機(jī)械泵不工作
可能原因：1.真空泵油不足；2.電機(jī)燒毀；3.機(jī)械泵磨損
處理措施：1.清洗后，添加真空泵油；2.請(qǐng)聯(lián)系我公司客服
5、plasma清洗效(果)異常
可能原因：1.等離子功率不夠；2.選用不適合的反應(yīng)汽體
解決措施：1.調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2.工藝汽體是不是匹配合理；3.咨詢我公司客服；
6、plasma機(jī)械泵熱過壓保護(hù)，請(qǐng)檢驗(yàn)路線和機(jī)械泵常見故障。
可能原因：出現(xiàn)此情況請(qǐng)首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化，機(jī)器設(shè)備突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)清零，導(dǎo)致機(jī)器設(shè)備出現(xiàn)該類警報(bào)。
解決措施：如系統(tǒng)參數(shù)無變化，請(qǐng)核對(duì)熱繼電器是不是自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。若不進(jìn)行自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線路是否發(fā)生斷路或短路。檢查導(dǎo)線是否斷路或短路。如果沒有以上異常，請(qǐng)檢查機(jī)械泵。
7、plasma機(jī)械泵倒計(jì)(時(shí))常見故障（機(jī)械故障），請(qǐng)檢驗(yàn)機(jī)械泵時(shí)間工作能力，常見故障消除點(diǎn)一下復(fù)位鍵。
可能原因：所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒(計(jì))時(shí)時(shí)間機(jī)器設(shè)備較短，沒法在機(jī)器設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空。
解決措施：檢驗(yàn)真空門是不是關(guān)到位，逐級(jí)檢驗(yàn)真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn)，看是不是有管道銜接異常或毀壞，機(jī)械泵常見故障，需檢驗(yàn)保養(yǎng)機(jī)械泵。
8、plasma真空計(jì)常見故障警報(bào)
可能原因：真空計(jì)常見故障或毀壞，請(qǐng)檢驗(yàn)并替換真空計(jì)。
解決措施：檢驗(yàn)真空計(jì)是不是毀壞，檢驗(yàn)真空計(jì)操縱路線是不是有斷路或短路。
9.plasma急停未復(fù)位或已按住，請(qǐng)打開急停按鈕
解決措施：檢驗(yàn)急停是不是被按住，如沒有此情況，請(qǐng)檢驗(yàn)急停路線。