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等離子體發(fā)生器工藝在半導體晶圓上應用越來越普遍

等離子體發(fā)生器工藝在半導體晶圓上應用越來越普遍：在半導體生產(chǎn)過程中，幾乎每個過程都需要清洗，圓形清洗質(zhì)量對設(shè)備性能有嚴重影響。正是因為圓形清洗是半導體制造過程中一個重要而頻...
發(fā)布時間:2022-12-17
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雙基片結(jié)構(gòu)下的射頻電漿清洗機

雙基片結(jié)構(gòu)下的射頻電漿清洗機：使用園柱諧振腔式MPCVD裝置能通過增強沉積壓力來提升等離子體密度，在基片臺上實現(xiàn)金剛石膜的快速生長。改變石英管位置、腔體結(jié)構(gòu)、調(diào)諧板靈活程度等方式...
發(fā)布時間:2022-12-14
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plasma設(shè)備常說的基本要素跟哪些方面息息相關(guān)

plasma設(shè)備常說的基本要素跟哪些方面息息相關(guān)：在原材料的表面處理過程中，plasma設(shè)備主要有以下基本要素：明顯增強侵潤性，從而形成活性表面；清潔灰塵和油污，細致清潔和除靜電；提供...
發(fā)布時間:2022-12-12
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crf電漿清洗機活化后對表面是否可達到均勻性

crf電漿清洗機活化后對表面是否可達到均勻性： crf電漿清洗機一次清洗范圍大，可設(shè)計成不規(guī)則形狀，非常適合用于材料表面改性。經(jīng)過電漿清洗機表面處理，原材料的表面存在很多物理、化學...
發(fā)布時間:2022-12-08
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行業(yè)中清洗工藝常講的粘結(jié)性、相容性和去除臟污往往跟真空等離子清洗機有關(guān)

行業(yè)中清洗工藝常講的粘結(jié)性、相容性和去除臟污往往跟真空等離子清洗機有關(guān)：一、crf真空等離子清洗機增加材料之間的粘結(jié)性許多聚合物材料，如聚合物膜和纖維，很難被溶劑濕潤，附著力低...
發(fā)布時間:2022-12-07
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