crf電暈等離子處理機化學(xué)變化在多晶硅工業(yè)行業(yè)的應(yīng)用研究：
       化學(xué)變化即原子或原子團(tuán)層面的重新組合，要外界提供必要的反應(yīng)活化能。相對等離子體而言，工業(yè)生產(chǎn)的反應(yīng)物質(zhì)多呈密集的凝聚態(tài)。參加反應(yīng)氣體大多是“高濃度”的致密層，crf電暈等離子處理機使向反應(yīng)體系連續(xù)傳送大的激勵動能非常困難，某些要特大活化能的化學(xué)變化在常規(guī)技術(shù)條件下很難實現(xiàn)。
       化學(xué)與物理學(xué)之間聯(lián)系緊密分子中電子運動、原子間相互作用力、原子和分子的受激與電離等微觀形態(tài)，決定了物質(zhì)的物化性質(zhì)和化學(xué)變化能力。因而應(yīng)用物理辦法使物質(zhì)的狀態(tài)發(fā)生變化，可致使化學(xué)變化或干擾化學(xué)變化進(jìn)行。

 

      為此電場向反應(yīng)室內(nèi)的氣體分子直接傳送動能，產(chǎn)生具有足夠大動能的電子與氣體分子進(jìn)行非彈性碰撞，將電子的幾乎全部動能傳送給參加反應(yīng)的氣體分子，crf電暈等離子處理機使反應(yīng)室內(nèi)氣體產(chǎn)生大量的光子、電子、離子、自由基以及活性原子激發(fā)態(tài)原子和活性分子等為其化學(xué)變化提供極活潑的活性粒子，從而使得很多化學(xué)變化條件變得溫和提高化學(xué)變化效率。
       自然界中物質(zhì)存在形式有固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)，其中固態(tài)的組成粒子之間的結(jié)合致密，液態(tài)次之，氣態(tài)分散。要實現(xiàn)物質(zhì)在緊密到分散的聚合態(tài)的轉(zhuǎn)化要提供額外的動能破壞原粒子間較大的結(jié)合能。同理，當(dāng)物質(zhì)為氣態(tài)后，crf電暈等離子處理機繼續(xù)提供動能組成氣體物質(zhì)粒子發(fā)生電離即形成等離子體。